国产芯片制造环节再次暴露短板,设备问题需要解决

来源:QQ快报
责任编辑:鲁晓倩
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一、用途光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。二、工作原理在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。一般e68a8462616964757a686964616f31333431343130的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。扩展资料光刻机的结构:1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、notch。12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。参考资料来源:百度百科-光刻机www.book1234.com防采集请勿采集本网。

半导体

因为短板的问题,这一段时间,大家对芯片的关注可谓是前所未有的,这对于我们国家的芯片产业来说,是非常有利的。

而又或许是因为聚焦最大短板的问题,人们在高端光刻机上的关注则是更为强烈的,而且前一段时间,大家都在说,在芯片设计、生产制造以及封测环节,我们的现在在封测上已经做得差不多了,而在设计上也有很厉害的公司了,所欠缺的就是芯片的生产制造环节。

在生产制造中,最为关键的就是光刻机,尤其是在高制程光刻机上,我们全部依赖进口,所以大家都在关注光刻机。其实,这对于我们来说,已经忽略了在高密集技术产业的重要特点,既然芯片是技术密集产业,自然所涉及到的高新技术非常多,而在设计和制造方面,同样也是如此。

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之前给大家说过,我们虽然可以进行高制程芯片的设计工作,但是芯片的设计软件就是我们的一大短板,还不止于此,我们所谓的搞定芯片封测环节,却不知道,我们进行封测的设备,同样还是需要大量进口的。

半导体产业中的检测设备,其实就是用于检测芯片生产过程中和成品是否满足芯片设计产商的要求的设备,一般分为工艺检测、晶圆检测、终测三个环节,而这三个环节的设备供应商主要由日本以及美国的企业所垄断。

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不要觉得检测环节没有刻蚀以及光刻环节的技术要求高,设备上就简单了,相反,检测环节在整个芯片制造环节中作用非常关键,而且技术要求非常高,这也导致检测设备的投入要占到整个芯片产业投资的15%左右!而这对于我们正在大力发展的芯片产业来说,可是非常巨大的投入,而如果不能在检测技术上获得核心技术的突破,不但丢失大量的利润问题,同样,也面临卡脖子的风险。

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以往,我们喜欢将产业区分为是否为密集型产业,却不知道,每一个产业在经济发展中的都有着非常重要的地位的,有时候一个看起来不起眼的技术,还可能决定着一个产业的发展,而技术的积累过程至关重要。

就说日本对韩国断供的氟化氢刻蚀气体吧,当初日本一上来的时候也不是那么牛气,而是常年的技术积累,随着芯片制造制程工艺的提升,这些基础材料也在提升,以至于到了今天的水平。

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而我们所欠缺的就是在一个技术点上,进行不断的技术升级迭代,这就是对精细技术的要求,只要我们做到了在技术点上的长久创新,那我们的企业也可以走到世界的前列。

1)LED,多晶硅,集成电路IC等都可以算半导体芯片,但半导体的材料和工艺却是不一样的;LED主要是GaN,AsGa,InALGnIn等材料,用这些材料才可以出光,多晶硅,是单质硅的一种形态,主要可以用来组成太阳能电池板等。2)覆铜板基本指我们平时看到的电路板,主要包含基材(FR4,或铝等),绝缘材料和电路层(铜),是电路电子元件的承载体,LED行业,电子行业,半导体行业,家电行业,包括你的手机里面都要用到内容来自www.book1234.com请勿采集。

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